前研發大將林本堅：台積電採浸潤式微影超車英特爾

清大半導體研究學院今天揭牌，台積電前研發副總經理林本堅擔任院長，他透露，英特爾2002年曾組EUV聯盟，台積電無法參加，改採浸潤式微影技術，反而超越英特爾。

專精微影技術的林本堅，今天受訪時提起當年台積電導入（2330）浸潤式微影技術的往事。他表示，英特爾大約在2002年就與超微（AMD）及IBM等企業一起成立EUV LLC聯盟，希望共同研發極紫外光（EUV）相關設備，導入60、40奈米製程使用。

林本堅說，當時聯盟共有6家廠商，台積電無法加入，改採浸潤式微影技術，直到5奈米製程才採用EUV技術。除英特爾外，EUV LLC聯盟的其他成員廠商都沒有再持續下去。

對於中芯國際遭美國管制，林本堅表示，中芯雖然無法取得EUV設備，不過中芯目前設備，就可以推進到5奈米製程。

林本堅說，半導體製程技術推進成本越來越高，不一定要微縮，現在有很多方法可以降低成本、效能更好。

清大半導體研究學院與台積電、聯電（2303）、力積電（6770）及美光等11家企業合作；林本堅表示，也歡迎英特爾加入清大半導體研究學院的合作行列。

（中央社）