論壇中心／綜合報導台積電2奈米製程全面推進，ALD原子層沉積成為不可或缺的核心製程，資深分析師蘇威元在《財經週日趴》指出，明遠精密是台灣第一家成功開發台積電ALD臭氧供氣系統的廠商，同時自主研發節能射頻電源系統實測省電68%，已獲台積電指定合作並出貨，是現階段台積電2奈米概念股中的潛力黑馬。蘇威元表示，台積電2奈米GAA製程必須採用ALD技術，ALD製程中需要臭氧與電漿活化特用氣體完成原子層鍍膜，