創新檢測溶液雜質技術 新創公司成半導體業幕後推手

台灣晶圓產能是世界之冠,半導體大廠持續往先進製程發展,所以在國際間的競爭和挑戰非常激烈,產品的良率也成為勝敗關鍵,但就有隱藏的台灣之光推手,幫助半導體產業在世界舞台上發光發熱。

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手機、電腦、電視等產品都會用到半導體,2017年,台灣半導體產業鏈的產值達810億美元,撐起了台灣經濟半邊天,而這背後有一道隱藏的台灣之光,透過提高製程良率,來幫助台灣半導體產業,站穩世界舞台。

工研院新創公司的實驗人員檢測溶液雜質,其實半導體製程中,需要使用大量溶液清洗與研磨晶圓表面,如果雜質越多,就會降低良率,但是這家新創公司,擁有新世代溶液奈米粒子監測系統專利技術,可以大幅提升良率。

博士何信佳:「我們的量測技術,就是將溶液裡頭的粒子,從溶液轉換成空氣漂浮的粒子,來進行量測。」

過去傳統監測都利用光學技術來監測溶液中的雜質,很容易受到其他粒子干擾,但是何信佳的獨家技術,將液體經由霧化、氣化等程序直接監測空氣,有效將檢測能力提升至5奈米。不過,要說起這項技術的源起,得從5年前的工研院說起。

博士何信佳:「我本來預期這是一件很簡單的事情,我當時以為3個月能夠提出來一個解決方案,一拖就是5年的工作,也開啟了我們創業的這條路。」

來自工研院,在產業界發光發熱的核心技術,院內也持續支持新創產業發展,經過工研院幹部幫忙牽線,技術團隊被檢測設備廠青睞以及注資。

協理段家瑞:「在過程當中,其實我已經介紹了3家的檢測設備製造廠商,都沒有談成,只好把我最後一張牌拿出來。」

半導體產業競爭非常嚴峻,而工研院新創公司的檢測技術,成為半導體前端製程的火眼金睛,強化台灣半導體產業,在全球的競爭力。

(民視新聞/綜合報導)